تفاصيل الوثيقة

نوع الوثيقة : رسالة جامعية 
عنوان الوثيقة :
تكوين أفلام رقيقة عازلة متعددة الطبقات ذات سماحية عالية باستخدام التسخين بواسطة الأشعة البنفسجية عميقة المدى
FABRICATION OF MULTILAYER HIGH- DIELECTRIC THIN FILMS USING DEEP ULTRAVIOLET ANNEALING APPROACH
 
الموضوع : كلية العلوم 
لغة الوثيقة : العربية 
المستخلص : يعد التنشيط الكيميائي الضوئي الناجم عن ضوء الأشعة فوق البنفسجية عميقة المدى (DUV) مسارًا حديثًا برز مؤخرًا كطريقة تلدين لأغشية أكاسيد المعادن الرقيقة العازلة. تمتاز هذه الطريقة للتلدين بأنها سريعة، وبسيطة وقليلة التكلفة، حيث يقوم الضوء الفوق البنفسجي ذو الأطوال الموجية 185 نانومتر و254 نانومتر بتوفير طاقة كافية لتكثيف أغشية أكاسيد المعادن عند درجات حرارة منخفضة. وقد تم تكريس هذا البحث من أجل تصنيع أغشية رقيقة متعددة الطبقات ذات ثابت عزل عالي، باستخدام أكسيد الهافنيوم (HfO2) وأكسيد الإيتريوم (Y2O3) المصنع بطريقه محلول - هلام مع استخدام استراتيجية التلدين بواسطة DUV. حيث تمت دراسة خصائص العازل HfO2/Y2O3 متعدد الطبقات وفقًا لعدد الطبقات ولطريقة التلدين. على وجه التحديد، تم تصميم عوازل متعددة الطبقات تتكون من 3 و9 و10 طبقات متناوبة. ثم لكل حالة، تم تطبيق ثلاثة شروط مختلفة من التلدين، وهي: التلدين التقليدي عند 400 درجة مئوية لمدة 60 دقيقة، التلدين بواسطة DUV لمدة 60 دقيقة، التلدين بواسطة DUV لمدة 30 دقيقة. بالنسبة للخواص الكهربائية للأغشية فقد تمت دراسـة منحنيات (السعة -الجهد) بالإضافة لمنحنيات (التيار-الجهد) وقد وجد أن العازل المكون من 9 طبقات متناوبه من HfO2/Y2O3 والذي تم تسخينه لمده 30 دقيقه باستخدام الأشعة فوق البنفسجية قد حقق أقل قيمه لكثافة تيار التسرب والتي كانت 7.32×10-9 أمبير/سم2 عند تطبيق جهد مقداره 1 فولت، بينما كانت قيمه ثابت العزل له تساوي 8.73 عند تردد 100 كيلو هرتز مع قيمه صغيرة مهملة لجهد التباطؤ. بينما نجد أن الأفلام التي تم تحضيرها بالتناوب ما بين أكسيد الهافينوم وأكسيد الايتريوم قد حققت شفافية في حدود 94% وبشكل عام فإن العينات التي تم تحضيرها عن طريق التلدين باستخدام الأشعة فوق البنفسجية حققت قيم منخفضة لكل من جهد التباطؤ وجهد النطاق المسطح. هذه النتائج توضح وجود إمكانات واعدة في استخدام DUV كطريقة تلدين للتطبيقات التي يكون خفض الطاقة الحرارية فيها أمراً ضرورياً وحاسماً. 
المشرف : د.هاله الجوهري 
نوع الرسالة : رسالة ماجستير 
سنة النشر : 1442 هـ
2020 م 
المشرف المشارك : د.أروى كتبي 
تاريخ الاضافة على الموقع : Friday, December 4, 2020 

الباحثون

اسم الباحث (عربي)اسم الباحث (انجليزي)نوع الباحثالمرتبة العلميةالبريد الالكتروني
شواق محمد الميمونيAl-Maimouni, Ashwag Mohammedباحثماجستير 

الملفات

اسم الملفالنوعالوصف
 46804.pdf pdf 

الرجوع إلى صفحة الأبحاث